文章摘要
韩韬.单根电极或沟槽形成的栅格对声表面波的散射*[J].,2018,37(1):70-74
单根电极或沟槽形成的栅格对声表面波的散射*
Surface Acoustic Wave Scattering of an Electrode or a Groove
投稿时间:2017-10-31  修订日期:2017-12-22
中文摘要:
      本文借鉴汪承灏先生研究栅格声表面波散射的技术路线,提出一种既不限制基片和栅格形状、类型,也不限制声波入射方向,可精确计算栅格对SAW散射的有限元通用模型。作为对《超声学》第六章“声表面波”中栅格对声表面波的反射和体波散射一节部分结论的进一步阐释和说明,计算了YZ-LiNbO3和128°YX-LiNbO3单晶上厚度为2000埃、宽度为1微米的单根悬浮铝栅条以及沟槽在不同频率下的反射系数曲线。提出的计算方法今后可推广应用于层状结构基底、应用到非规则指条、沟槽、金属点阵、基片端面、台阶等的反射的精确分析,为优化设计新型声表面波器件奠定理论基础。
英文摘要:
      This paper reviews the research progress of the surface acoustic wave scattering from gratings on piezoelectric substrate. Based on Wang Chenghao’s method, this paper extends it to a general model for arbitrary substrates, grating shapes and wave incidence angles using the finite element method. As examples, the frequency dependent SAW reflections of an aluminum electrode and a groove with the width of 1 micron and the height/depth of 2000 Armstrong on YZ-LiNbO3 and 128°YX-LiNbO3 substrate are calculated and discussed.
DOI:10.11684/j.issn.1000-310X.2018.01.010
中文关键词: 声表面波,散射,有限元,电极,沟槽
英文关键词: surface  acoustic wave, scattering, finite  element method, electrode, groove
基金项目:国家自然科学基金项目 (11174205, 11474203), 国家重点研发计划项目 (2016YFB0402705)
作者单位E-mail
韩韬 200240 than@sjtu.edu.cn 
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