| 王 剑,安 燕,刘明华,刘久玲,何世堂.退火温度对声表面波检测器电极 表面粗糙度的影响*[J].,2019,38(1):129-133 |
| 退火温度对声表面波检测器电极 表面粗糙度的影响* |
| The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness of the surface acoustic wave detectors |
| 投稿时间：2018-11-16 修订日期：2018-12-20 |
| 中文摘要: |
| 本文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化，实验中分别选择常温（25°C）, 200°C 和 300°C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火，最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看，退火温度为200°C时，得到的电极表面粗糙度最大。 |
| 英文摘要: |
| The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness was studied. The electrode surface roughness of the SAW detector was changed by annealing at different temperatures. 25°C, 200°C and 300°C were chosen for this experiment. From the experimental results, when annealing temperature is 200°C, the electrode surface roughness is the largest. |
| DOI：10.11684/j.issn.1000-310X.2019.01.017 |
| 中文关键词: 声表面波，粗糙度，退火温度，传感器 |
| 英文关键词: Surface acoustic wave, Surface Roughness, Annealing Temperature, Sensor |
| 基金项目:国家重点研发子课题项目 (2017YFC0803603-Z04) |
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