文章摘要
王 剑,安 燕,刘明华,刘久玲,何世堂.退火温度对声表面波检测器电极 表面粗糙度的影响*[J].,2019,38(1):129-133
退火温度对声表面波检测器电极 表面粗糙度的影响*
The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness of the surface acoustic wave detectors
投稿时间:2018-11-16  修订日期:2018-12-20
中文摘要:
      本文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化,实验中分别选择常温(25°C), 200°C 和 300°C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火,最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看,退火温度为200°C时,得到的电极表面粗糙度最大。
英文摘要:
      The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness was studied. The electrode surface roughness of the SAW detector was changed by annealing at different temperatures. 25°C, 200°C and 300°C were chosen for this experiment. From the experimental results, when annealing temperature is 200°C, the electrode surface roughness is the largest.
DOI:10.11684/j.issn.1000-310X.2019.01.017
中文关键词: 声表面波,粗糙度,退火温度,传感器
英文关键词: Surface acoustic wave, Surface Roughness, Annealing Temperature, Sensor
基金项目:国家重点研发子课题项目 (2017YFC0803603-Z04)
作者单位E-mail
王 剑 天津航海仪器研究所  
安 燕 中国科学院声学研究所  
刘明华 中国科学院声学研究所  
刘久玲 中国科学院声学研究所 liujiuling@mail.ioa.ac.cn 
何世堂 中国科学院声学研究所 heshitang@mail.ioa.ac.cn 
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