《应用声学》编辑部

文章摘要

周先明,汪承浩.高Q值的嵌陷换能器SAW沟槽谐振器的研制[J].,1984,3(1):35-38,48

高Q值的嵌陷换能器SAW沟槽谐振器的研制

中文摘要:

嵌陷叉指换能器沟槽谐振器,不但具有SAW沟槽谐振器的Q值高,老化性能好的优点,而且能够克服处于谐振腔中的叉指电极对SAW的反射干扰畸变,可以一次光刻成型、重复性好,制作方便,叉指电极不易被磨损,是制作高基频谐振器频率源和窄带滤波器的较理想结构. 本文阐述此种沟槽谐振器的研制.目前研制的器件中心频率为102MHz,其中最好的获得了在空气中的无载Q=24000,带外抑制28dB,插入损失6dB的结果.此外,我们还对沟槽刻蚀深度和叉指换能器嵌陷情况对器件性能的影响,进行了实验研究.

英文摘要:

DOI：10.11684/j.issn.1000-310X.1984.01.008

中文关键词: 谐振器反射器叉指换能器高Q值槽栅又指换能器叉指电极铝金属阻带端对

英文关键词:

基金项目:

作者	单位
周先明	中国科学院声学研究所
汪承浩	中国科学院声学研究所

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