《应用声学》编辑部

文章摘要

于昌明.压电振子表面振动位移分布的激光干涉仪测量[J].,1985,4(4):38-42

压电振子表面振动位移分布的激光干涉仪测量

中文摘要:

本文提出了一种采用迈克尔逊干涉仪方法测量压电振子表面振动位移分布的简单方法。当其中一支光路引入一低频相位调制,可使测量结果不受环境机械振动和声噪声的干扰（包括带动微动台移动的马达机械振动和声噪声）,因而可进行一维自动测量。当自动测量时,位移振幅一般需大于0.1A,当进行定点精密绝对测量时,最小可测位移为5×10^-2-5×10^-3A,最后给出了几种压电振子的测量结果。

英文摘要:

DOI：10.11684/j.issn.1000-310X.1985.04.008

中文关键词: 压电振子位移分布表面振动激光干涉仪位移振幅相位调制除法器测位移振动位移振幅分布

英文关键词:

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作者	单位
于昌明	南京大学声学研究所

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