《应用声学》编辑部

文章摘要

干昌明.用刀刃技术测SAW速度[J].,1986,5(3):39-41

用刀刃技术测SAW速度

中文摘要:

本文介绍了一种激光探针(刀刃技术)测SAW速度的方法.用这种方法测量了s切一x传播石英晶片的自由表面SAA速度及金属化表面SAw速度。速度值的准确度优于1‰,精密度约为0.4‰。

英文摘要:

DOI：10.11684/j.issn.1000-310X.1986.03.008

中文关键词: 干涉波自由表面表面声波微动台金属化相速光电接收器示值误差测量显微镜叉指换能器

英文关键词:

基金项目:

作者	单位
干昌明	南京大学声学研究所

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