| 以往的超声测厚方法对于厚度1mm以下的薄板测量是很难处理的,特别是对于厚度变化部分的高精度测证研究较少。本文提出一种超声波厚度共振测厚法,可精确测量1mm以下薄板的厚度及厚度变化。测量原理是将超声波垂直射入被测薄板,板中超声波将在板的两界面发生反复反射,改变超声波频率,当板的厚度d与超声波的波长λ有d=nλ/2(n是整数)关系时,板中形成驻波、产生共振。其共振频率f_n可以表示为f_n=v/(2d)·n,v是声速。共振频率由板的厚度和超声波的声速决定。进行厚度变化测量时,是测量共振频率的变化。板的厚度变化△d时,共振频率变 |
