| 陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜,申忠明,徐正元.智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理[J].,1992,11(3):6-11 |
| 智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理 |
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| 中文摘要: |
| 本文描述了我们近期研制成功的一台智能化150MHz反射式声显微镜.该机以通用微机为核心,控制整机工作,终端显示图象.该机具有较高的表层和深层分辨能力,已观察出5.1mm深处20μm宽浅槽的形状.它可检测平面、圆柱形零件.该机还具有多项图象处理功能,分析样品参数,具有良好推广应用前景. |
| 英文摘要: |
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| DOI：10.11684/j.issn.1000-310X.1992.03.002 |
| 中文关键词: 声学显微镜 声镜 反射式 声显微镜 图象处理 亚表层 样品表 声学像 回差 图象增强 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
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