| 隆志力,吴运新,韩雷.以有效值计算的热声键合PZT换能器阻抗分析[J].,2005,24(4):216-220 |
| 以有效值计算的热声键合PZT换能器阻抗分析 |
| Impedance analysis of PZT transducer by RMS method for thermosonic bonding |
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| 中文摘要: |
| 在热超声芯片键合过程中,PZT换能器阻抗是键合系统的一个重要的研究参数。本文在提取PZT换能器驱动电信号实部数据的前提下,采用连续加窗的有效统计值计算的广义阻抗表征整个键合周期内的PZT换能器阻抗变化,由此获得键合过程PZT换能器阻抗的动态变化规律。文中详细介绍了PZT换能器阻抗的试验方法,并分析了试验结果。 |
| 英文摘要: |
| In thermosonic chip bonding process, the impedance of PZT transducer is a very important parameter. By getting the real part of electrical signal, a RMS (Root Mean Square) calculation method was used to denote impedance changing of PZT transducer and reflected clearly the impedance characteristic of PZT in bonding process. The paper described in detail the experiment method and analysis result. |
| DOI：10.11684/j.issn.1000-310X.2005.04.003 |
| 中文关键词: 换能器阻抗 有效值统计 热超声芯片键合工艺 |
| 英文关键词: Impedance of PZT transducer Root meat square calculation Thermosonic chip bonding |
| 基金项目:国家自然科学基金资助项目(50390064)国家973计划项目(2003CB716202) |
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