文章摘要
干昌明.用刀刃技术测SAW速度[J].,1986,5(3):39-41
用刀刃技术测SAW速度
  
中文摘要:
      本文介绍了一种激光探针(刀刃技术)测SAW速度的方法.用这种方法测量了s切一x传播石英晶片的自由表面SAA速度及金属化表面SAw速度。速度值的准确度优于1‰,精密度约为0.4‰。
英文摘要:
      
DOI:10.11684/j.issn.1000-310X.1986.03.008
中文关键词: 干涉波  自由表面  表面声波  微动台  金属化  相速  光电接收器  示值误差  测量显微镜  叉指换能器
英文关键词: 
基金项目:
作者单位
干昌明 南京大学声学研究所 
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