文章摘要
陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜,申忠明,徐正元.智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理[J].,1992,11(3):6-11
智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理
  
中文摘要:
      本文描述了我们近期研制成功的一台智能化150MHz反射式声显微镜.该机以通用微机为核心,控制整机工作,终端显示图象.该机具有较高的表层和深层分辨能力,已观察出5.1mm深处20μm宽浅槽的形状.它可检测平面、圆柱形零件.该机还具有多项图象处理功能,分析样品参数,具有良好推广应用前景.
英文摘要:
      
DOI:10.11684/j.issn.1000-310X.1992.03.002
中文关键词: 声学显微镜  声镜  反射式  声显微镜  图象处理  亚表层  样品表  声学像  回差  图象增强
英文关键词: 
基金项目:
作者单位
陈戈林 清华大学电子工程系 
胡思正 清华大学电子工程系 
罗淑云 清华大学电子工程系 
张克潜 清华大学电子工程系 
申忠明 清华大学电子工程系 
徐正元 清华大学电子工程系 
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