《应用声学》编辑部

文章摘要

钱梦騄.“扫描电声成像系统及其相关器件和材料”项目简介[J].,2006,25(2):108

“扫描电声成像系统及其相关器件和材料”项目简介

中文摘要:

扫描电声成像系统是在电子显微镜(SEM) 的基础上,增加一电子束斩波系统,使入射到试样表面的电子束强度以频率f变化。由于电子与试样原子之间的非弹性散射,在电子束焦斑附近就形成一时变的热弹源,会同时激发出热波和声波。声波作为信息的载体透过试样, 而被在试样背面相耦合的压电换能器接收,该信号经锁相放大器检测后再输入电子显微镜的成像系统。当强度调制的电子束在试样表面上扫描时,由于试样表面的形貌、局域的力学、

英文摘要:

DOI：10.11684/j.issn.1000-310X.2006.02.012

中文关键词: 显微成像系统电声成像电子显微镜电子束强度研制成功试样表面扫描探针显微镜项目信号传感器声信号

英文关键词:

基金项目:

作者	单位
钱梦騄

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