文章摘要
钱梦騄.“扫描电声成像系统及其相关器件和材料”项目简介[J].,2006,25(2):108
“扫描电声成像系统及其相关器件和材料”项目简介
  
中文摘要:
      扫描电声成像系统是在电子显微镜(SEM) 的基础上,增加一电子束斩波系统,使入射到试样表面的电子束强度以频率f变化。由于电子与试样原子之间的非弹性散射,在电子束焦斑附近就形成一时变的热弹源,会同时激发出热波和声波。声波作为信息的载体透过试样, 而被在试样背面相耦合的压电换能器接收,该信号经锁相放大器检测后再输入电子显微镜的成像系统。当强度调制的电子束在试样表面上扫描时,由于试样表面的形貌、局域的力学、
英文摘要:
      
DOI:10.11684/j.issn.1000-310X.2006.02.012
中文关键词: 显微成像系统  电声成像  电子显微镜  电子束强度  研制成功  试样表面  扫描探针显微镜  项目  信号传感器  声信号
英文关键词: 
基金项目:
作者单位
钱梦騄  
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