文章摘要
杨楚威,李俊红,黄歆,汪承灏.圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制[J].,2006,25(4):197-200
圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制
Silicon based ZnO piezoelectric micro-microphone with circular vibrating film
  
中文摘要:
      本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%。
英文摘要:
      This paper presents the fabrication of a silicon based ZnO piezoelectric micro- microphone with novel circular vibrating film.Micromachined techniques to fabricate the device are described in detail.The circular vibrating film structure of this microphone is a modification of the rectangular one,and the performances of the device are improved. The sensitivity is-70dB(ref.1V/Pa)and the rate of finished product is 80%.
DOI:10.11684/j.issn.1000-310X.2006.04.001
中文关键词: 硅微传声器  圆形振动膜  压电薄膜  ZnO
英文关键词: Silicon micro-microphone  Circular vibrating film  Piezoelectric film  ZnO
基金项目:国家自然科学基金青年科学基金项目(10204021);国家自然科学基金SOC重点基金项目(90207003)
作者单位
杨楚威 中国科学院声学研究所 北京 100080 
李俊红 中国科学院声学研究所 北京 100080 
黄歆 中国科学院声学研究所 北京 100080 
汪承灏 中国科学院声学研究所 北京 100080 
摘要点击次数: 1328
全文下载次数: 180
查看全文   查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭