文章摘要
朱明博,刘梦伟,汪承灏.基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究[J].,2013,32(3):212-216
基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究
Studies of high overtone bulk acoustic resonator with ZnO film
投稿时间:2013-04-08  
中文摘要:
      基于氧化锌(ZnO)作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器(HBAR),采用不同电极材料和溅射方法进行优化。优化选定镀铬-金/氧化锌/铬-金/蓝宝石结构。对制备的器件进行了测试分析,结果显示,具有多模谐振特性的HBAR器件在2.87 GHz Q值达到43000。根据一维Mason等效电路模型,HBAR器件还进行了理论仿真,结果表明理论结果与实测值基本一致。
英文摘要:
      Several materials and methods of high overtone bulk acoustic resonator (HBAR) with ZnO film as piezoelectric layer and sapphire as substrate were studied, and the structure of Cr-Au/ZnO/Cr-Au/Sapphire was optimized. According to measurements the fabricated HBAR presents multimode resonances in a wide frequency range, with the highest Q of 43,000 at about 2.87 GHz, which agrees with the simulation results by software, based on one-dimensional Mason equivalent circuit model.
DOI:10.11684/j.issn.1000-310X.2013.03.008
中文关键词: 体声波谐振器,Q值,ZnO薄膜,Mason模型
英文关键词: Bulk acoustic wave resonator, Quality factor, ZnO film, Mason model
基金项目:
作者单位
朱明博 中国科学院声学研究所声学微机电实验室 北京 100190 
刘梦伟 中国科学院声学研究所声学微机电实验室 北京 100190 
汪承灏 中国科学院声学研究所声学微机电实验室 北京 100190 
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