Page 129 - 《应该声学》2022年第2期

第 41 卷 第 2 期 高鹏飞等： cMUT 阵元的声学分析与环形扫描成像 297

0 0 0
10 10 10
ܦᣉ/mm 20 ܦᣉ/mm 20 ܦᣉ/mm 20
30
30
30
40 40 40
50 50 50
-5 0 5 -5 0 5 -5 0 5
cMUT x/mm cMUT x/mm cMUT x/mm
(a) cellӧय़90 µmᄊܦڤ (b) cellӧय़60 µmᄊܦڤ (c) cellӧय़30 µmᄊܦڤ
1000 500 150
100
500
50
ܦԍ/Pa 0 ܦԍ/Pa 0 ܦԍ/Pa 0

-50
-500
-100
-1000 -500 -150
0 10 20 30 40 50 60 0 10 20 30 40 50 60 0 10 20 30 40 50 60
ܦᣉ/mm ܦᣉ/mm ܦᣉ/mm
(d) cellӧय़90 µmᄊᣉՔܦԍ (e) cellӧय़60 µmᄊᣉՔܦԍ (f) cellӧय़30 µmᄊᣉՔܦԍ

图 4 不同 cell 半径声场、轴向声压对比
Fig. 4 Comparison of sound field and axial sound pressure with different cell radius

0  

10 


ܦᣉ/mm 30 ܦᣉ/mm  ܦᣉ/mm 
20

40  
 
50

-5 0 5 ֓ ֓ ֓     ֓ ֓   
cMUT x/mm cMUT x/mm cMUT x/mm
(a) cellᫎᡰ200 µmᄊܦڤ (b) cellᫎᡰ400 µmᄊܦڤ (c) cellᫎᡰ600 µmᄊܦڤ

1000 300 600
200 400
500
100 200
ܦԍ/Pa 0 ܦԍ/Pa 0 ܦԍ/Pa 0

-500 -100 -200
-200 -400
-1000 -300 -600
0 10 20 30 40 50 60 0 50 100 150 200 0 50 100 150 200 250
ܦᣉ/mm ܦᣉ/mm ܦᣉ/mm
(d) cellᫎᡰ200 µmᄊᣉՔܦԍ (e) cellᫎᡰ400 µmᄊᣉՔܦԍ (f) cellᫎᡰ600 µmᄊᣉՔܦԍ

图 5 不同 cell 间距声场、轴向声压对比
Fig. 5 Comparison of sound field and axial sound pressure with different cell spacing