Page 132 - 《应用声学》2022年第6期

978 2022 年 11 月

௄ܦߦॲፇ౞ ॲื଍ᔇྟܦԍڏ ҫКܦߦॲፇ౞ ॲื଍ᔇྟܦԍڏ
1.5 9 2 8
1.0 7
0.5 8 T 3 mm
T 3 mm
1
0 7 6
300 0
0 6 400 5 (10 4 N/m 2 )
5 (10 4 N/m 2 ) 4
3 4 0
2 3 4 3
1 T mm 3 2 2
3
z 0 2 y z 1 3
y x 1 x 0 T mm 1
(a) ˀ຋ҫܦߦॲፇ౞ (b) ҫКܦߦॲፇ౞
图 6 微流控芯片声压图
Fig. 6 Acoustic pressure map of microfluidic chip
0.4 1.0

0.2 0.5
ႃҹ/V 0 ႃҹ/V 0

-0.2 -0.5

-0.4 -1.0
0 5 10 15 20 25 30 0 5 10 15 20 25 30
ᮠဋ/MHz ᮠဋ/MHz
(a) ˀ຋ҫܦߦॲፇ౞ (b) ҫКܦߦॲፇ౞
图 7 输出端频率 -位移图
Fig. 7 Frequency-displacement diagramat the output

0.05 0.05

ႃҹ/V 0 ႃҹ/V 0

-0.05 -0.05

-0.10 -0.10
0 500 1000 0 500 1000
௑ᫎ/ns ௑ᫎ/ns
(a) ˀ຋ҫܦߦॲፇ౞ (b) ҫКܦߦॲፇ౞
图 8 输出端时间 -电势图
Fig. 8 Time-to-potential diagram at the output
随后，以 IDT 基板的几何中心为参考，绘制出 右；当电势小于 0 V 时，总体降低了约 0.03 V。加入
了接收换能器电势随时间变化的二维折线图，如 声学微结构后，输出端的电势能量更为集中，声波的
图 8 所示。在 0 ∼ 1000 ns 内，输出端电势的最大值 辐射力较强，在辐射力的作用下，靶细胞便会根据自
约为0.052 V，最小值约为−0.069 V，微流控器件表 身体积的大小分别向压力节点移动，从而高效率地
面添加铜柱阵列微结构后，输出端电势最大值约为 完成了粒子聚集，提高了微流控芯片在生物医学等
0.064 V，最小值约为−0.087 V。将图8(a)与图8(b) 相关领域的适用性。
比较发现，当电势大于0 V时，总体提高了0.01 V左 为得出更为明显的声场局域增强效果，将基板