Page 130 - 《应用声学》2022年第6期

976 2022 年 11 月

3
mm T mm
2000 0 1 2 3
1600 1.5
1200 1.0 T 3 mm
800 0.5
400 0
100
0 mm
y
z
x
0 1000 2000 3000 mm
(a) ̄፥വی (b) ʼ፥വی
图 3 不添加声学微结构 SAW 模型
Fig. 3 Acoustic surface wave model without acoustic microstructure

mm
2000
mm
1600
300
1200 0 0
0.5 0
800 1.0 2 1
1.5 3
3
400 2.0 4 T mm
T 3 mm
z
0 x y
0 1000 2000 3000 mm
(a) ̄፥വی (b) ʼ፥വی
图 4 加入声学微结构 SAW 模型
Fig. 4 Adding acoustic microstructure sound surface wave model

0 0
T mm 3 T 3 mm 1 0.5 T 3 mm
3
2 1.5 2 1.0
1 1.0 T 3 mm
0 3 1.5
0.5 4 2.0
0 200
mm
100
mm
y z z
x
x
y
(a) ˀ຋ҫܦߦॲፇ౞ (b) ҫКܦߦॲፇ౞
图 5 SAW 器件网格划分图
Fig. 5 SAW device meshing diagram

本模型中，使用了固体力学物理场和静电场耦 极，弹性矩阵设置为
合。其中固体力学场用来构建基板和 IDT 金属电

2.02897 e + 011[Pa] 5.29177 e + 010[Pa] 2.02897 e + 011[Pa]
7.49098 e + 010[Pa] 7.49098 e + 010[Pa] 2.43075 e + 011[Pa]
8.99874 e + 009[Pa] −8.99874 e + 009[Pa] 0[Pa]
5.99034 e + 010[Pa] 0[Pa] 0[Pa]

0[Pa] 0[Pa] 5.99018 e + 010[Pa]
0[Pa] 0[Pa] 0[Pa]
0[Pa] 8.98526 e + 009[Pa] 7.48772 e + 010[Pa]