Page 54 - 《应用声学）》2023年第5期
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图 15(e) 未加超声铜颗粒表面会附着有较多杂质 图 15(c) 更加均匀，为了进一步对比颗粒的大小，对
颗粒，图 15(f) 加超声铜颗粒表面非常光滑。对比 相同放大倍数、同样大小面积的图15(c)、图15(d)进
图 15(f)、图15(g)，加超声的铜颗粒表面均非常光滑， 行了图像处理，结果如图 16 与表 3 所示。因两个图
表明超声的加入提高了镀层的纯度；图 15(g) 相对 片的小颗粒较多并且基本布满整个底部结构，所以
于图 15(h) 颗粒更均匀，镀层更饱满，表明阴极距离 进行数据处理时对两个图片选择了过滤面积小于
超声不是越近越好，l 为 0 ∼ 30 mm 时超声作用太 100、300 与 500 三种情况。表3 中结果显示图 15(d)
强，反而会不利于电镀镀层质量的提高。此结果与 加超声的三种情况颗粒都相对图 15(c)未加超声多，
仿真理论模拟的图13结果一致。当放大倍数为1万 平均面积较小，结合形貌与数据处理结果可有效证
倍时，从形貌图上可以宏观看到图 15(d) 颗粒相对 明超声可以细化镀层颗粒，提高镀层表面质量。
3 mm 3 mm
(a) ڏ5(a)ళҫᡔܦ, 3.5Ӣφ (b) ڏ5(b)ҫᡔܦ, 3.5Ӣφ
1 mm 1 mm
(c) ڏ5(a)ళҫᡔܦ, 1ʺφ (d) ڏ5(b)ҫᡔܦ, 1ʺφ
200 nm 200 nm
(e) ڏ5(a)ళҫᡔܦ, 4ʺφ (f) ڏ5(b)ҫᡔܦ, 4ʺφ
500 nm 500 nm
(g) ڏ5(c)ҫᡔܦ, l=60 mm, 2ʺφ (h) ڏ5(c)ҫᡔܦ, l=30 mm, 2ʺφ
图 15 铜镀层的扫描电镜图
Fig. 15 SEM of copper coating
