Page 55 - 《应用声学）》2023年第5期

第 42 卷 第 5 期 王文亚等： 超声辅助电镀的仿真与实验 947

(a) ڏ5(a)ళҫᡔܦ (b) ڏ5(b)ҫᡔܦ

图 16 颗粒识别图片
Fig. 16 Image of particle recognition

表 3 数据处理结果 porous substrate under ultrasonic waves and from a con-
Table 3 Results of data processing tinuous flow titanium nanofluids[J]. Journal of Alloys and
Compounds, 2020, 828(C): 154437.
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Li Jiaming, Xu Shuqing, Liang Mingzhong. Preparation
图 15(c) 300 152 2511
and characterization of Cu-ZrO 2 composite coatings[J].
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Plating and Finishing, 2015, 37(3): 6–8.
100 213 1658 [4] 徐火平, 孙静静. 超声波对印制板电镀铜和化学镀铜的影响研
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4 结论 [5] 龙琼, 张玉兰, 路坊海, 等. 循环镀液超声波作用下双脉冲电镀
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本文提供了一种超声电镀的方法，进行了超声 164.
电镀机理分析，并基于仿真模拟分析结果进行了初 [6] 查全性. 电极过程的动力学导论 [M]. 北京: 科学出版社,
2002.
步的实验研究，可得结论：
[7] 郭国才. 电镀电化学基础 [M]. 上海: 华东理工大学出版社,
(1) 电镀过程中加入超声，可以提高电镀的电 2016.
流密度，降低镀层的边缘效应，提高镀层的均匀性。 [8] 管金发, 邓松圣, 张攀锋, 等. 空化特性研究进展 [J]. 科学技
术与工程, 2011, 11(27): 6674–6680.
(2) 电镀过程中加入超声，可以减少镀铜颗粒
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表面的杂质，提高表面的光洁度。 Journal of Chemical Physics, 1941, 9(3): 279–280.
(3) 仿真分析表明，阴极布置在换能器正下方， [10] 赵福令, 冯冬菊, 郭东明, 等. 超声变幅杆的四端网络法设
计 [J]. 声学学报, 2002, 27(6): 554–558.
随着阴极上表面与换能器距离的增加，在30 mm 以
Zhao Fuling, Feng Dongju, Guo Dongming, et al. Design
内边缘效应较严重，在距离为60 mm 镀层厚度会提 of horn four-end network method[J]. Acta Acustica, 2002,
高，边缘效应减弱。 27(6): 554–558.
[11] 郭鑫源, 岳建海, 郑义. 单晶压电片模态及谐响应特性分析 [J].
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参 考 文 献
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