Page 125 - 《应用声学》2022年第1期
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第 41 卷 第 1 期             王威威等: SAW 谐振器谐振频率微秒级快速检测方法                                         121


                            3.5                                      10
                            3.0
                                                                     8
                            2.5
                                                        >V ref  ᣥѣ0 V  6
                          ႃԍ/V  2.0                     <V ref  ᣥѣ3 V  ႃԍ/V  4  f 1    f 2
                            1.5
                                                                     2
                            1.0
                            0.5                                      0
                            432.0 432.2 432.4 432.6 432.8 433.0      432.0 432.2 432.4 432.6 432.8 433.0
                                      ᮠဋ/MHz                                    ᮠဋ/MHz
                                (a) ೝฉᣥѣڀฉ૯Ᏺᮠ־జጳ                           (b) උᣗ٨ᣥѣ᤿ᣤႃࣱ
                                           图 2  回波损耗频响曲线快速信号处理示意图
                        Fig. 2 Schematic diagram of fast signal processing of return loss frequency response curve


                          FMCWηՂԧၷ٨             Ҫဋஊܸ٨
                                                                         ࠀՔᏹՌ٨
                                                                 OUTPUT           INPUT   SAW
                                                  PA                                      ៈ૝٨

                                                                              COUPLED

                               ࠀ௑٨              LNA

                                               Ͱ٪ܦ
                                       උᣗ٨     ஊܸ٨      ໚ฉ٨      Ҫဋೝฉ٨
                                         图 3  快速 SAW 谐振器谐振频率检测系统原理框图
                                    Fig. 3 Block diagram of the fast return loss detection system


             2 快速检测方法硬件实现                                      声放大器、比较器和定时器组成。功率检波器对定
                                                               向耦合器耦合的回波损耗信号进行功率到电压的
                 基于功率检波的 SAW 传感器回波信号检测系
                                                               转换,通过带通滤波器滤除低频与高频干扰后输入
             统  [2]  不需要对高频回波信号进行下变频处理,提高
                                                               到低噪声放大器;低噪声放大器的作用是将回波损
             了信号采集速度,但需要对每个激励点的回波信号
                                                               耗频响曲线放大到合适电压便于与比较器比较电
             进行AD采样处理。为了进一步提高谐振式SAW传
                                                               压进行比较;比较器是将回波损耗曲线与比较电压
             感器信号的检测速度,本文基于回波损耗测量原理,
                                                               进行对比输出数字逻辑电平传输到定时器;定时器
             使用比较器结合定时器设计了 SAW 谐振器谐振频
                                                               用来记录逻辑脉冲中点对应频率值即谐振频率。
             率快速检测系统方案,其系统原理框图如图3所示。
                 快速 SAW 谐振器谐振频率检测系统主要由发                                                        ଌஆᩗ᡹
             射链路、定向耦合器和接收链路组成。系统硬件的
             3D示意图如图4所示。
                 发射链路主要包含线性调制信号源与功率放                                            ᏹՌ٨
             大器。线性调制信号源用来生成线性扫频信号;功
             率放大器将线性扫频信号放大到合适的输出功率
             传输到定向耦合器。
                 定向耦合器的作用是连接发射链路与接收链
             路,将发射链路的线性激励信号传输到 SAW 谐振                                                         ԧ࠱ᩗ᡹
             器,同时在耦合端耦合 SAW 谐振器的回波损耗信
                                                                 图 4  快速 SAW 谐振器谐振频率检测系统 3D 示意图
             号传输到接收链路。                                           Fig. 4 3D schematic diagram of fast SAW resonator
                 接收链路端主要由功率检波器、滤波器、低噪                            resonance frequency detection system
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