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第 38 卷 第 1 期 王剑等： 退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响 133

从测试结果可以看出，测试苯样品时，随着退 [3] 刘国锋, 陈明. 新型声表面波气体传感器 [J]. 航空计测技术,
火温度的不同，测试响应变化明显，200 C 退火条 1995, 15(3): 5–8.
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[4] Ballantine D S, Whiite R M, White S J, et al. Acous-
件下的 SAW 检测器响应比 300 C 退火条件下的检
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tic wave sensors: theory, design & physicochemical appli-
测响应提高约20%。 cations[J]. Sensors & Actuators A Physical, 1997, 63(1):
79–79.
4 结论 [5] Wohltijon H, Ressy R. Surface acoustic wave probe for
chemical analysis. I. Instruction and instrument descrip-
tion[J]. Analytical Chemistry, 1979, 51(9): 1458–1464.
本文实验研究了退火温度对声表面波检测器
[6] 黄亮. 高灵敏度磁电声表面波磁场传感器研究 [D]. 成都: 电
电极表面粗糙度的影响。对于直接吸附气体的声表 子科技大学, 2015.
面波传感器来说，声表面波检测器电极表面的粗糙 [7] 胡佳. 神经性毒剂痕量蒸汽声表面波传感器的研究 [D]. 成都:
电子科技大学, 2012.
度问题不可忽略，其将直接影响声表面波检测器的
[8] 代丽红. 磁声表面波磁场传感器及其制备方法 [D]. 成都: 电
吸附效率，进而影响传感器的灵敏度。电极表面的 子科技大学, 2012.
粗糙度随着退火温度不同而变化，实验中分别选择 [9] 胡浩亮, 王文, 何世堂, 等. 一种采用穴番 -A 敏感膜的新型
声表面波瓦斯传感器的研究 [J]. 传感技术学报, 2016, 29(2):
200 C和300 C作为退火温度对SAW 器件进行退
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166–170.
火，得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系，并 Hu Haoliang, Wang Wen, He Shitang, et al. A
用不同退火温度得到的检测器对苯样品进行检测 novel surface acoustic wave methane sensor coated with
实验。从实验结果来看，退火温度为200 C时，得到 Cryptophane-A[J]. Chinese Journal of Sensors and Actu-
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ators, 2016, 29(2): 166–170.
的电极表面粗糙度最大，对苯的检测响应也比退火 [10] Li D J, Zhao C, Fu Y Q, et al. Engineering silver nanos-
温度为 300 C 时提高约 20%。在传感器应用中，可 tructures for surface acoustic wave humidity sensors sensi-
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结合声表面波传感器的实际需要，针对不同待测物， tivity enhancement[J]. Journal of the Electrochemical So-
ciety, 2014, 161(6): B151–B156.
优化退火条件，实现声表面波传感器芯片表面粗糙 [11] Wang C, Fan L, Zhang S Y, et al. Highly sensitive
度的优化。 Rayleigh wave hydrogen sensors with WO 3 sensing layers
at room temperature[J]. Chinese Physics Letters, 2011,
28(11): 110701.
参 考 文 献 [12] Water W, Wang S F, Chen Y P, et al. Calcium and stron-
tium doped ZnO films for love wave sensor applications[J].
Integrated Ferroelectrics, 2005, 72(1): 13–22.
[1] 程建春, 田静. 创新与和谐: 中国声学进展 [M]. 北京: 科学出 [13] 覃奇贤, 刘淑兰. 表面粗糙度 [J]. 电镀与精饰, 2009, 31(6):
版社, 2008. 32–34.
[2] 何世堂, 王文, 刘久玲, 等. 声表面波气体传感器研究进展 [J]. Qin Qixian, Liu Shulan. Surface roughness[J]. Plating and
应用声学, 2013, 32(4): 252–262. Finishing, 2009, 31(6): 32–34.
He Shitang, Wang Wen, Liu Jiuling, et al. Research [14] 白琨. 表面粗糙度测量实验综述报告 [J]. 科技展望, 2016(15):
progress of surface acoustic wave based gas sensors[J]. 154.
Journal of Applied Acoustics, 2013, 32(4): 252–262. [15] 吴自勤, 王兵, 孙霞. 薄膜生长 [M]. 北京: 科学出版社, 2001.