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第 38 卷 第 1 期 Vol. 38, No. 1
2019 年 1 月 Journal of Applied Acoustics January, 2019

⋄ 研究报告 ⋄

退火温度对声表面波检测器电极

表面粗糙度的影响 ∗

王 剑 1 安 燕 2 刘明华 2 刘久玲 2† 何世堂 2†

(1 天津航海仪器研究所 天津 300131)
(2 中国科学院声学研究所 北京 100190)

摘要 该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度
不同而变化，实验中分别选择常温 (25 C)、200 C 和 300 C 作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器
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件进行退火，最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看，退火温度为 200 C 时，得到
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的电极表面粗糙度最大。该研究为声表面波检测器表面粗糙度优化及灵敏度提升提供了基础。
关键词 声表面波，粗糙度，退火温度，传感器
中图法分类号: O429 文献标识码: A 文章编号: 1000-310X(2019)01-0129-05
DOI: 10.11684/j.issn.1000-310X.2019.01.017

The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness of the

surface acoustic wave detectors

WANG Jian 1 AN Yan 2 LIU Minghua 2 LIU Jiuling 2 HE Shitang 2

(1 Institute of Navigation Instrument of Tianjin, Tianjin 300131, China)
(2 Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China)

Abstract The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness of the surface acoustic wave
(SAW) detectors was studied. The electrode surface roughness of the SAW detector was changed by annealing
at different temperatures. 25 C, 200 C and 300 C were chosen for this experiment. From the experimental
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results, when annealing temperature is 200 C, the electrode surface roughness is the largest. This study provides
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a basis for surface roughness optimization and sensitivity improvement of acoustic surface wave detector.
Key words Surface acoustic wave, Surface roughness, Annealing temperature, Sensor

2018-11-16 收稿; 2018-12-26 定稿
国家重点研发子课题项目 (2017YFC0803603-Z04)
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作者简介: 王剑 (1979- ), 男, 辽宁沈阳人, 工程师, 研究方向: 自动控制。
† 通讯作者 E-mail: liujiuling@mail.ioa.ac.cn; heshitang@mail.ioa.ac.cn