Page 96 - 《应用声学》2022年第3期

418 2022 年 5 月

0
ቇᣒ
-20 ᠇ᣒ

-40
ଣК૯Ᏺ/dB -60 -2

-80
-4
-6
ଣК૯Ᏺ/dB -10
-100 -8
-12
-14
-120
-16
506.4 506.6 506.8 507.0 507.2 507.4 507.6 507.8 508.0 508.2
ᮠဋ/MHz
-140
490 495 500 505 510 515 520 525 530 535
ᮠဋ/MHz
图 8 液膜负载前后 SAW 谐振器的频率响应 (h = 300 nm)
Fig. 8 Frequency response of SAW resonator before and after liquid membrane loading (h = 300 nm)
90.0 366.2 nm、389.5 nm、461.9 nm、508.9 nm，制备相
˗ॷᮠဋϠረ᧚/kHz 70.0 器件。
80.0
应的 SAW 器件进行了实验。图 11 为完好的 SAW

60.0
50.0
40.0
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550
AlႃౝԒए/nm
图 9 DMMP 液膜引起的中心频率偏移量随电极厚
度变化理论图
Fig. 9 Theoretical diagram of the center fre-
quency shift caused by the DMMP with the elec-
trode thickness
图 11 SAW 实验器件
55.0
Fig. 11 SAW experimental device
˗ॷᮠဋϠረ᧚/kHz 45.0 3.1 色谱柱的初始温度 45 C，升温至 180 C，柱
50.0
实验条件
40.0
◦
◦
35.0
流量 3 mL/min；进样口温度 200 C；六通阀温度
◦
30.0
◦
◦
25.0 165 C；检测器温度 40 C；氦气作载气；泵吸时间
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550
AlႃౝԒए/nm 40 s，实验装置如图12所示。
实 验 样 品： 质 量 浓 度 为 0.0016 mg/mL 的
图 10 C7 液膜引起的中心频率偏移量随电极厚度
DMMP溶液；体积浓度为3 × 10 −6 浓度的C7；体积
变化理论图
Fig. 10 Theoretical diagram of the center fre- 浓度为1.5 × 10 −6 浓度的C8。
quency shift caused by the C7 with the electrode 3.2 结果与讨论
thickness
为了避免特殊性，减少单次测量的误差，采用
3 实验部分 每个器件测 6 组数据、多次实验结果取平均值的方
法。上述 6 种电极厚度的 SAW 检测器在本课题组
为验证上述理论分析，本次实验在 ST-X 石 自行研制的 GC/SAW 系统中进行 DMMP、C7、C8
英压电表面沉积了 6 种电极厚度 (徕卡 DCM8 显微 响应实验，实验结果如图13、图14、图15所示。从图
镜干涉测量模式实测值)：253.7 nm、297.7 nm、 中可以看出，当 DMMP 为实验样品时，灵敏度随电