Page 30 - 《应用声学）》2023年第5期

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础上加入了振幅闭环控制逻辑，引入了作为反馈信 行性。此超声驱动电源可广泛应用于金属超声焊接
号的输入电流，在焊接过程中对驱动波形的占空比 领域，具有良好的工程应用前景。
实时调节。恒振幅测试设定的铜片焊接参数同表 2
所示。
参 考 文 献
在恒振幅测试中，所测得的焊接振幅如图 9 所
示。焊接振幅最大 18 µm，最小 16.5 µm，振幅极差
[1] 张文武, 潘浩, 马秋晨, 等. 功率超声微纳电子封装互连技术
为 1.5 µm，平均振幅为 17 µm，振幅的相对极差为 研究进展 [J]. 机械工程学报, 2022, 58(2): 100–121.
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比无振幅闭环控制下的焊接振幅可知，在相位差产
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中谐振频率的实时追踪且实现了焊接振幅相对极
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差稳定在 10% 以内的效果，验证了此逻辑方案的可 circuit[J]. Audio Engineering, 2012, 36(9): 26–29.