Page 62 - 《应用声学》2021年第4期

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和 21.64 µm，反演结果与标称值误差分别为 6.0% 19.54 µm(欧美克公司 PIP8.1 图像分析仪，重复性
和 8.2%，HS 算法反演结果则较明显偏离真值。相 误差 < 3%)。超声测量误差略大于图像分析，除反
同样品的显微镜图像分析D v50 分别为10.41 µm 和 演误差外，还可能与硅颗粒的非球形度、超声谱测
量误差有关。
80
10 µmᆪᮤዢ
70 5 结论
20 µmᆪᮤዢ
60 本文主要对和声搜索算法在超声衰减谱法颗
ᛰѓ/(NpSm -1 ) 50 粒粒径测量的反演问题进行了研究和讨论，得到了

以下结论：
40
IHS迭代次数为200次时，BFGS开始介入的改
30
进算法试反演优化结果精确度和稳定性最好，但
20
反演所需时间较长；通过多次模拟，IHS 算法反演
10
1 2 3 4 5 6 7 8 结果误差均小于 10%，优于 HS 算法 (极端误差可达
f/MHz
170%)，其反演精度还可结合更宽频带的谱得以提
图 6 样品实验衰减谱 高；通过实验及与图像法对比进一步验证表明 IHS
Fig. 6 Ultrasonic attenuation spectra of silicon 具有较强的实际应用性。本文工作表明 IHS 算法相
particles 较于 HS 算法在反演准确性和抗噪性方面均得到了
明显改善，在超声衰减谱法粒径表征具有较好的实
25 ڏϸข 际应用价值。
HS
IHS
20 参 考 文 献
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图 7 两种方法结果对比
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