Page 68 - 《应用声学》2021年第4期

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动主轴进行了模态分析，得到了各阶模态振型的变
形情况和谐振频率，最终确定第21阶振型为所需振
型。基于谐响应分析的基本理论，对超声振动主轴
进行了谐响应分析，得到了各阶模态振型的振幅频
率响应、相位频率响应、位移云图和应力云图。对加
B/ms
20.00 工出来的超声振动主轴进行阻抗分析和幅值测试，
测试结果与仿真结果基本一致。
G/ms
-20.00
参 考 文 献

图 7 阻抗分析仪测试结果 [1] 于家珊. 电火花加工理论基础 [M]. 北京: 国防工业出版社,
Fig. 7 Test results of impedance analyzer 2011.
3.2 幅值测试 [2] Kim G, Ni J, Koc M. Modeling of the size effects on the
behavior of metals in microscale deformation processes[J].
使用如图8 所示的超声振幅测量仪对加工的超 Journal of Manufacturing Science and Engineering-
声振动主轴进行测试，仪测量结果如表 3所示，振幅 Transactions of the ASME, 2007, 129(3): 470–476.
范围 2 ∼ 6 µm，最大振幅与仿真结果相差不大，满 [3] Saxena K K, Agarwal S, Khare S K. Surface characteriza-
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